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日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵

日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵

簡(jiǎn)要描述：日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵
? 雙繞式渦旋泵，含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。
? 可在大氣壓下實(shí)現(xiàn)操作運(yùn)行。
? 可實(shí)現(xiàn)高極限真空。
? 低振動(dòng)低噪音。

產(chǎn)品型號(hào)： DIS-90

所屬分類：真空泵

更新時(shí)間：2024-08-14

詳細(xì)說(shuō)明：

日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵 一、特性

 

• 雙繞式渦旋泵，含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。

• 可在大氣壓下實(shí)現(xiàn)操作運(yùn)行。

• 可實(shí)現(xiàn)高極限真空。

• 低振動(dòng)低噪音。

• 維護(hù)周期可通過(guò)計(jì)時(shí)表控制。

 

日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵 二、應(yīng)用

 

• 分析設(shè)備

• 氣體回收系統(tǒng)

• 涂料設(shè)備• TMP 前級(jí)泵

• 氦滲漏探測(cè)器

• 半導(dǎo)體制造工藝

 

 三、規(guī)格參數(shù)

 

 

單位

50Hz

60Hz

實(shí)際抽速

L/min

90

108

極限壓力

Pa

5.0

馬達(dá)

 

單相, 100/115/200/230V, 
150W, 4P, 電容啟動(dòng)運(yùn)行

滿載電流

A

2.6/1.3/1.6
(100/200/230V)

2.1/2.2/1.1/1.1 
(100/115/200/230V)

重量

kg

14.0

進(jìn)出氣管道直徑

 

進(jìn)氣管 KF-25　出氣管 KF-16

環(huán)境溫度

°C

5 – 40

水蒸氣處理

g/天

≤5 (A.F. 開(kāi)啟)

尺寸

mm

214(W) × 308(L) × 225(H)

 

四、外形圖

 

 

五、泵數(shù)曲線

 

六、對(duì)應(yīng)電壓與認(rèn)證

 

電壓

現(xiàn)行電壓

CE 認(rèn)證

CSA 認(rèn)證

單相, 
100V / 115V (60Hz)/ 200-230V

標(biāo)準(zhǔn)

 

 



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